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Technologien der Mikrosysteme

Ngo:Technologien der Mikrosysteme
Autor: Ha Duong Ngo
Verfügbarkeit: Auf Lager.
Veröffentlicht am: 05.09.2022
Artikelnummer: 2502277
ISBN / EAN: 9783658374976

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39,99 €
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    Produktbeschreibung

    Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.

    Zusatzinformation

    Autor Verlag Springer, Berlin
    ISBN / EAN 9783658374976 Bindung Taschenbuch

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