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Etude des mécanismes de croissance catalysés des nanofils de silicium

Oehler:Etude des mécanismes de croissan
Autor: Fabrice Oehler
Verfügbarkeit: Auf Lager.
Artikelnummer: 1061300
ISBN / EAN: 9786131552298

Verfügbarkeit: sofort lieferbar

69,00 €
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Produktbeschreibung

Les nanofils de silicium présentent un fort potentiel technologique, qui ne se révèle que lorsque la taille des objets est bien maîtrisée. L'obtention de ces structures par Dépôt Chimique en phase Vapeur est réalisée par croissance catalysée à partir de précurseurs du silicium chlorés ou hydrogénés. On détaille ici les effets du chlore sur la passivation des surfaces de silicium et des flancs des nanofils. Cette passivation ralentit la diffusion du catalyseur (Au) sur la surface mais ne change pas la cinétique de la croissance (axiale) du fil. On obtient ainsi une croissance reproductible et stable de nanofils notamment pour les diamètres supérieurs à 20 nm. L'effet du chlore est également visible sur les flancs des nanofils, où les facettes évoluent plus ou moins vite selon la vitesse de croissance radiale. La passivation de la surface des nanofils permet donc la stabilisation de leur croissance et le contrôle de leur morphologie.

Zusatzinformation

Autor Verlag Éditions universitaires européennes
ISBN / EAN 9786131552298 Bindung Taschenbuch

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